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Fecha de publicación
Título
Autor(es)
8-ene-2025
Effect of radio frequency power and total mass-flow rate on the properties of microcrystalline silicon films prepared by helium-diluted-silane glow discharge
Torres, Ignacio
;
Barrio, Rocío
;
Santos, José Domingo
;
González, Nieves
;
Gandía, José Javier
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Información y consultas:
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