Characterization of suprathermal electron population in He dc glow discharges by optical emission and probe diagnostics

Abstract

En el presente trabajo se demostró la fuerte contribución de electrones con energías hasta el potencial del cátodo en plasmas de descarga luminiscente de corriente continua de Helio a bajas presiónes (3–8 mTorr), lo cual concuerda con las expectativas según las estimaciones del camino libre medio de las colisiones inelásticas entre electrones y neutros. Para caracterizar la función de distribución de energía electrónica (EEDF) completa en los plasmas de Helio estudiados se utilizó una sonda de malla simple, del tipo analizador de campo de retardo, observándose una contribución significativa de electrones supratérmicos (hasta un 3,5%). Las EEDF inferidas se cotejaron con los resultados del diagnóstico de la relación de líneas de He y se observó una buena concordancia para diversos valores de presión y corriente de plasma.